中国KAIYUN 中微公司苦求钛层千里积工艺联系专利, 轮回千里积、刻蚀使金属钛层达工艺条目
6月17日音书，国度学问产权局信息裸露，中微半导体斥地（上海）股份有限公司苦求一项名为“一种金属钛层的千里积工艺”的专利。苦求公布号为CN122214841A，苦求号为CN202510559967.1，苦求公布日历为2026年6月16日，苦求日历为2025年4月29日，发明东谈主沈成绪、许灿，专利代理机构上海元好学问产权代理有限公司，专利代理师贾慧琴、张静洁，分类号C23C16/505、C23C16/14、C23C16/56、C23C16/52。
专利节录裸露，本发明公开了一种金属钛层的千里积工艺，包含：将一基片置于半导体措置斥地的响应腔中，所述基片具有几许由侧壁与底部界定的启齿；千里积要领：向所述响应腔中通入钛源先行者体及回话气体，在射频源作用下，所述钛源先行者体与所述回话气体解离，发生化学响应，在所述启齿的侧壁与底部千里积金属钛层；刻蚀要领：关闭所述射频源，开云体育向所述响应腔中通入刻蚀气体，所述刻蚀气体与所述金属钛层发生化学响应，使所述金属钛层厚度减薄；N次轮回进行所述千里积要领、刻蚀要领，直到所述金属钛层达到设定厚度及设定的台阶隐蔽率。本发明通过N次轮回进行的千里积要领、刻蚀要领，不错已毕在复杂的三维结构中造成的金属钛层的厚度和台阶隐蔽率均能达到工艺条目。
天眼查数据裸露，中微半导体斥地（上海）股份有限公司斥地日历2004年5月31日，法定代表东谈主尹志尧，所属行业为专用斥地制造业，企业界限为大型，注册本钱62614.5307万东谈主民币，实缴本钱62691.781万东谈主民币，注册地址为上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号。中微半导体斥地（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标风光86次，财产陈迹方面有商标信息114条，专利信息1706条，领有行政许可88个。
龙虎棋牌2026世界杯官方最新版中微半导体斥地（上海）股份有限公司近期专利情况如下：
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